ASML y Carl Zeiss SMT contra Nikon – litografía de inmersión

ASML Netherlands BV es el mayor fabricante del mundo de máquinas de litografía utilizadas en la producción de microchips. Las máquinas de litografía de alta tecnología de ASML producen microchips con una precisión nanométrica (un nanómetro es aproximadamente 100.000 veces más delgado que un cabello humano).

Las máquinas de litografía de ASML, especialmente las más avanzadas que se utilizan para fabricar los chips más pequeños, son muy grandes y tienen miles de componentes complejos. El principal proveedor de ASML es la empresa alemana Carl Zeiss SMT GmbH. Zeiss produce los sistemas ópticos utilizados en las máquinas de ASML, en particular las costosas y complejas lentes de proyección.

Nikon Corporation es un conglomerado japonés que, si bien es conocido principalmente por la fabricación y comercialización de cámaras, fabrica también desde hace años máquinas de litografía. Al igual que ASML (y Zeiss), Nikon tiene una amplia cartera de patentes relativas a procesos y a productos en los campos de la litografía, la tecnología óptica, los semiconductores y las lentes. Muchas de estas patentes guardan relación con la litografía de inmersión, un proceso por el cual se coloca una capa muy fina de agua debajo de la lente de proyección con el fin de mejorar la resolución y la profundidad de enfoque, de modo que se puedan fijar en el chip estructuras de transistores más pequeñas y nítidas.

Tras litigar en los Estados Unidos, Japón y Corea por sus patentes, ASML/Zeiss y Nikon llegaron a un acuerdo en el año 2004 por el que se concedieron licencias cruzadas y se comprometieron mutuamente a no atacarse. Sin embargo, al expirar las licencias y las obligaciones de no ataque, emergieron nuevos conflictos a partir del año 2017 en el propio terreno de ASML y Zeiss. Sólo en los Países Bajos y en Alemania, donde HOYNG ROKH MONEGIER representó a ASML y a Zeiss (además de coordinar los procedimientos en otros países), se interpusieron más de 30 demandas de patentes.

A principios de 2019 se consiguió poner fin a estos procedimientos al alcanzarse un acuerdo impulsado en buena medida por el éxito de ASML y Zeiss ante los tribunales, con  victorias sucesivas en la primera ronda de demandas que se presentaron contra ASML, evitando prohibiciones de comercialización críticas en Alemania y los Países Bajos, y con órdenes de exclusión de la ITC sobre la importación en los Estados Unidos de ciertas cámaras Nikon de gama alta.