ASML und Carl Zeiss SMT v. Nikon – Immersionslithographie

ASML Netherlands BV ist der weltweit größte Hersteller von Lithographiemaschinen, die bei der Herstellung von Computerchips eingesetzt werden. Die High-Tech-Lithografiemaschinen von ASML produzieren Computerchips mit einer Präzision im Nanometerbereich (ein Nanometer ist etwa 100.000 Mal dünner als eine Strähne menschlicher Haare).

Die Lithographiemaschinen von ASML, insbesondere die modernsten, die zur Herstellung der kleinsten Chips verwendet werden, sind sehr groß und haben Tausende von komplexen Komponenten. Der Hauptlieferant von ASML ist die deutsche Firma Carl Zeiss SMT GmbH. Zeiss stellt die optischen Systeme her, die in den Maschinen von ASML verwendet werden, insbesondere das hochkomplexe und teure Projektionsobjektiv.

Nikon Corporation ist ein japanischer Mischkonzern, der vor allem für die Herstellung und den Verkauf von Kameras bekannt ist. Das Unternehmen stellt seit vielen Jahren auch Lithographiemaschinen her. Wie ASML (und Zeiss) verfügt Nikon über ein umfangreiches Patentportfolio, das Prozesse und Produkte in den Bereichen Lithographie, optische Technologie, Halbleiter und Linsen abdeckt. Viele dieser Patente beziehen sich auf die Immersionslithographie, ein Verfahren, bei dem eine sehr dünne (laufende) Wasserschicht unter das Projektionsobjektiv gelegt wird, um die Auflösung und Tiefenschärfe zu verbessern, so dass kleinere und schärfere Transistorstrukturen auf dem Chip angebracht werden können.

Nach einem langen Patentrechtsstreit zwischen ASML/Zeiss und Nikon in den USA, Japan und Korea legten die Parteien 2004 ihre Differenzen bei, indem sie gegenseitige Lizenzen erteilten und sich auf Nichtangriffsverpflichtungen einigten. Das Auslaufen der Lizenzen und der Nichtangriffsverpflichtungen führte jedoch ab 2017 zu neuen Rechtsstreitigkeiten auf dem heimatlichen Terrain von ASML und Zeiss. Allein in den Niederlanden und in Deutschland, wo HOYNG ROKH MONEGIER ASML und Zeiss unterstützte (zusätzlich zur Koordinierung von Rechtsstreitigkeiten in anderen Ländern), wurden mehr als 30 Patentklagen eingereicht.

Anfang 2019 wurden diese Klagen beigelegt. Die Beilegung scheint weitgehend auf den Erfolg von ASML und Zeiss vor den Gerichten zurückzuführen zu sein: aufeinanderfolgende Siege in der ersten Reihe von gegen ASML angestrengten Verfahren und die Vermeidung kritischer Unterlassungsklagen in Deutschland und den Niederlanden sowie erwartete ITC-Ausschlussverfügungen im Zusammenhang mit dem Import bestimmter Nikon-Hochleistungskameras in die USA.