ASML en Carl Zeiss SMT v. Nikon – dompellithografie

ASML Netherlands BV is ’s werelds grootste fabrikant van lithografiemachines voor de productie van computerchips. De hightech lithografiemachines van ASML produceren computerchips met nanometerprecisie (een nanometer is ongeveer 100.000 keer dunner dan een haarlok).

ASML’s lithografiemachines, vooral de meest geavanceerde die gebruikt worden om de kleinste chips te maken, zijn zeer groot en hebben duizenden complexe componenten. De belangrijkste leverancier van ASML is het Duitse bedrijf Carl Zeiss SMT GmbH. Zeiss produceert de optische systemen die in de machines van ASML worden gebruikt, met name de zeer complexe en dure projectielens.

Nikon Corporation is een Japans conglomeraat dat vooral bekend staat om de productie en verkoop van camera’s. Het bedrijf produceert ook al vele jaren lithografiemachines. Net als ASML (en Zeiss) heeft Nikon een uitgebreide octrooiportefeuille met processen en producten op het gebied van lithografie, optische technologie, halfgeleiders en lenzen. Veel van deze octrooien hebben betrekking op dompellithografie, een proces waarbij een zeer dunne (lopende) laag water onder de projectielens wordt geplaatst om de resolutie en de scherpte te verbeteren zodat kleinere en scherpere transistorstructuren op de chip kunnen worden aangebracht.

Na hevige octrooigeschillen tussen ASML/Zeiss en Nikon in de VS, Japan en Korea, hebben de partijen in 2004 hun geschillen beslecht door het verlenen van kruislicenties en het overeenkomen van niet-aanvalsverplichtingen. Het aflopen van de licenties en de niet-aanvalsverplichtingen gaf echter aanleiding tot nieuwe rechtszaken, vanaf 2017, over de thuisbasis van ASML en Zeiss. Alleen al in Nederland en Duitsland, waar HOYNG ROKH MONEGIER ASML en Zeiss bijstond (naast de coördinatie van de rechtszaken in andere landen), werden meer dan 30 octrooiprocedures aangespannen.

Begin 2019 werden deze rechtszaken geschikt. De schikking lijkt grotendeels te zijn gedreven door het succes van ASML en Zeiss voor de rechter: opeenvolgende overwinningen in de eerste reeks zaken die tegen ASML zijn aangespannen en het vermijden van kritieke inbreukverboden in Duitsland en Nederland, alsmede verwachte ITC-uitsluitingsbevelen met betrekking tot de invoer in de VS van bepaalde high-end Nikon-camera’s.