ASML et Carl Zeiss SMT c. Nikon – lithographie par immersion

ASML Netherlands BV est le plus grand fabricant mondial de machines de lithographie utilisées dans la production de puces informatiques. Les machines de lithographie de haute technologie d’ASML produisent des puces informatiques avec une précision de l’ordre du nanomètre (un nanomètre est environ 100 000 fois plus fin qu’un cheveu humain). Les machines de lithographie d’ASML, en particulier les plus avancées utilisées pour fabriquer les plus petites puces, sont très grandes et comportent des milliers de composants complexes. Le principal fournisseur d’ASML est la société allemande Carl Zeiss SMT GmbH. Zeiss produit les systèmes optiques utilisés dans les machines d’ASML, en particulier la lentille de projection, très complexe et coûteuse.

Nikon Corporation est un conglomérat japonais connu principalement pour la production et la vente d’appareils photo. L’entreprise produit également des machines de lithographie depuis de nombreuses années. Comme ASML (et Zeiss), Nikon possède un vaste portefeuille de brevets couvrant des procédés et des produits dans les domaines de la lithographie, de la technologie optique, des semi-conducteurs et des lentilles. Nombre de ces brevets concernent la lithographie par immersion, un procédé par lequel une très fine couche d’eau (courante) est placée sous la lentille de projection afin d’améliorer la résolution et la profondeur de la mise au point de sorte que des structures de transistors plus petites et plus nettes puissent être fixées sur la puce.

Après de nombreux litiges en matière de brevets entre ASML/Zeiss et Nikon aux États-Unis, au Japon et en Corée, les parties ont réglé leurs différends en 2004, en signant des licences croisées et des accords de non-opposition. Toutefois, l’expiration de ces accords a donné lieu à de nouveaux litiges, à partir de 2017, à l’encontre d’ASML et de Zeiss. Rien qu’aux Pays-Bas et en Allemagne, où HOYNG ROKH MONEGIER a assisté ASML et Zeiss (en plus de coordonner les litiges dans d’autres pays), plus de 30 actions en justice ont été engagées en matière de brevets.

Au début de l’année 2019, ces procédures ont été transigées. Le règlement semble avoir été largement motivé par le succès de ASML et de Zeiss devant les tribunaux : victoires successives dans une première série d’actions intentées contre ASML, rejet de demandes d‘interdiction critiques en Allemagne et aux Pays-Bas, interdiction d’importation aux États-Unis de certains appareils photo Nikon haut de gamme, par l’International Trade Commission.